标准概要

基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

国家标准《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位沈阳建筑大学、三英精控（天津）仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学。主要起草人须颖、戴敬、邵萌、安冬、施玉书、贾静、戴超、文杰、石怀涛。 GB/T 38614-2020 现行

基础信息

起草单位

标准号

GB/T 38614-2020

发布日期

2020-04-28

实施日期

2020-11-01

标准类别

方法

中国标准分类号

N10

国际标准分类号

01.040.39 01 综合、术语学、标准化、文献 01.040 词汇 01.040.39 精密机械、珠宝（词汇）

归口单位

全国电子测量仪器标准化技术委员会

执行单位

全国电子测量仪器标准化技术委员会

主管部门

工业和信息化部（电子）

起草人

沈阳建筑大学

广东工业大学

苏州昊通仪器科技有限公司

三英精控（天津）仪器设备有限公司

中国计量科学研究院

沈阳理工大学

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申明

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