标准概要

氮化镓激光剥离设备

Laser lift-off equipment used for GaN

国家标准《氮化镓激光剥离设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。主要起草人孙永健、刘鹏、丁晓民、冯亚彬、汪青。 GB/T 37466-2019 现行

基础信息

标准号 GB/T 37466-2019

发布日期 2019-06-04

实施日期 2019-10-01

标准号 GB/T 37466-2019

发布日期 2019-06-04

实施日期 2019-10-01

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司

中国电子技术标准化研究院

起草人

孙永健

刘鹏

汪青

丁晓民

冯亚彬

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申明

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