标准概要

硅外延片

Silicon epitaxial wafers

国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司。主要起草人张海英、李慎重、蒋玉龙、骆红、胡金枝、卢立延、李素青。 GB/T 14139-2009 （全部代替） GB/T 14139-2019 现行

基础信息

标准号 GB/T 14139-2019

发布日期 2019-06-04

实施日期 2020-05-01

全部代替标准 GB/T 14139-2009

标准号 GB/T 14139-2019

发布日期 2019-06-04

实施日期 2020-05-01

全部代替标准 GB/T 14139-2009

起草单位

浙江金瑞泓科技股份有限公司

上海合晶硅材料有限公司

有研半导体材料有限公司

南京国盛电子有限公司

有色金属技术经济研究院

起草人

张海英

李慎重

胡金枝

卢立延

蒋玉龙

骆红

李素青

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