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标准概要
确定晶片坐标系规范
Specification for establishing a wafer coordinate system
国家标准《确定晶片坐标系规范》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 有色金属技术经济研究院 、有研半导体材料有限公司 、浙江海纳半导体有限公司 、浙江省硅材料质量检验中心 、上海合晶硅材料有限公司 。 主要起草人 卢立延 、孙燕 、潘金平 、杨素心 、楼春兰 、胡金枝 、李素青 。 GB/T 16596-1996 (全部代替) GB/T 16596-2019 现行
基础信息
标准号
GB/T 16596-2019
发布日期
2019-03-25
实施日期
2020-02-01
全部代替标准
GB/T 16596-1996
标准号
GB/T 16596-2019
发布日期
2019-03-25
实施日期
2020-02-01
全部代替标准
GB/T 16596-1996
起草单位
有色金属技术经济研究院
浙江海纳半导体有限公司
上海合晶硅材料有限公司
有研半导体材料有限公司
浙江省硅材料质量检验中心
起草人
卢立延
孙燕
楼春兰
胡金枝
潘金平
杨素心
李素青
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