标准概要

氮化镓外延片及衬底片通用规范

General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride

国家标准《氮化镓外延片及衬底片通用规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、合肥彩虹蓝光科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、中国电子技术标准化研究院。主要起草人丁晓民、刘南柳、潘尧波、徐科、修向前、孙永健、王香、张国义。 GB/T 37053-2018 现行

基础信息

标准号 GB/T 37053-2018

发布日期 2018-12-28

实施日期 2019-07-01

标准号 GB/T 37053-2018

发布日期 2018-12-28

实施日期 2019-07-01

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司

苏州纳维科技有限公司

中国电子技术标准化研究院

合肥彩虹蓝光科技有限公司

南京大学电子科学与工程学院

起草人

丁晓民

刘南柳

修向前

孙永健

潘尧波

徐科

王香

张国义

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