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氮化镓外延片及衬底片通用规范

General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride
国家标准《氮化镓外延片及衬底片通用规范》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 东莞市中镓半导体科技有限公司 、合肥彩虹蓝光科技有限公司 、苏州纳维科技有限公司 、南京大学电子科学与工程学院 、中国电子技术标准化研究院 。 主要起草人 丁晓民 、刘南柳 、潘尧波 、徐科 、修向前 、孙永健 、王香 、张国义 。 GB/T 37053-2018 现行
  基础信息
标准号 GB/T 37053-2018
发布日期 2018-12-28
实施日期 2019-07-01
标准号 GB/T 37053-2018
发布日期 2018-12-28
实施日期 2019-07-01
  起草单位
  东莞市中镓半导体科技有限公司
  苏州纳维科技有限公司
  中国电子技术标准化研究院
  合肥彩虹蓝光科技有限公司
  南京大学电子科学与工程学院
  起草人
  丁晓民
  刘南柳
  修向前
  孙永健
  潘尧波
  徐科
  王香
  张国义
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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