硅多晶真空区熔基硼检验方法

国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 江苏中能硅业科技发展有限公司 、亚洲硅业（青海）有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、峨嵋半导体材料研究所 。 主要起草人 胡伟 、刘晓霞 、耿全荣 、鲁文锋 、王桃霞 、胡自强 、宗冰 、肖建忠 、万烨 、杨旭 。 GB/T 4060-2007 （全部代替） GB/T 4060-2018 现行