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标准概要
电子级三甲基铝
Electronic grade trimethylaluminium
国家标准《电子级三甲基铝》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 江苏南大光电材料股份有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。 主要起草人 陈化冰 、孙明璐 、王香 、曹可慰 。 GB/T 36653-2018 现行
基础信息
标准号
GB/T 36653-2018
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-01-01
标准号
GB/T 36653-2018
发布日期
2018-09-17
实施日期
2019-01-01
起草单位
江苏南大光电材料股份有限公司
中国电子技术标准化研究院
起草人
陈化冰
孙明璐
王香
曹可慰
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