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标准概要
200mm硅外延片
200mm silicon epitaxial wafer
国家标准《200mm硅外延片》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 南京国盛电子有限公司 、有色金属技术经济研究院 。 主要起草人 马林宝 、骆红 、杨帆 、金龙 、杨素心 。 GB/T 35310-2017 现行
基础信息
标准号
GB/T 35310-2017
发布日期
2017-12-29
实施日期
2018-07-01
标准号
GB/T 35310-2017
发布日期
2017-12-29
实施日期
2018-07-01
起草单位
南京国盛电子有限公司
有色金属技术经济研究院
起草人
马林宝
骆红
杨素心
杨帆
金龙
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