标准概要

半导体制造用气体处理指南

Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

国家标准《半导体制造用气体处理指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院。主要起草人孙福楠、牛艳东、廖恒易、杜汉盛、王鸿、方华、陈鹰、周鹏云。 GB/T 34971-2017 现行

基础信息

标准号 GB/T 34971-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-02-01

标准号 GB/T 34971-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-02-01

起草单位

中昊光明化工研究设计院有限公司

高麦仪器公司

东莞市联臣电子科技有限公司

上海市计量测试技术研究院

西南化工研究设计院有限公司

广东华特气体股份有限公司

上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人

孙福楠

牛艳东

王鸿

方华

廖恒易

杜汉盛

陈鹰

周鹏云

推荐标准

GB/T 35636-2017 城市地下空间测绘规范

GB/T 34519-2017 摇摆类游艺机技术条件

GB/T 19072-2022 风力发电机组塔架

GB/T 20863.3-2007 起重机械分级第3部分: 塔式起重机

GB/T 34687-2017 含铁化工污泥处理处置方法

GB/T 3667.2-2016 交流电动机电容器第2部分：电动机起动电容器

GB/T 38826-2020 IPTV媒体交付系统技术要求总体要求

GB/T 16453.4-1996 水土保持综合治理技术规范小型蓄排引水工程

GB/T 39545.1-2022 闭式齿轮传动装置的零部件设计和选择第1部分：通用零部件

GB/T 5009.180-2003 稻谷、花生仁中恶草酮残留量的测定

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准、行业标准、国家标准

团体标准申报要求什么条件

行业标准团体标准

团体标准申请时间

国家标准采信团体标准

团体标准制定要哪些流程

水产团体标准

参编团体标准意义

政府采信团体标准

国标委团体标准信息平台