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微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京遥测技术研究所 、中机生产力促进中心 。 主要起草人 李庆丰 、金小锋 、李海斌 、朱悦 、程红兵 。 GB/T 34898-2017 现行
  基础信息
标准号 GB/T 34898-2017
发布日期 2017-11-01
实施日期 2018-05-01
标准号 GB/T 34898-2017
发布日期 2017-11-01
实施日期 2018-05-01
  起草单位
  北京遥测技术研究所
  中机生产力促进中心
  起草人
  李庆丰
  金小锋
  程红兵
  李海斌
  朱悦
  推荐标准
  申明
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