标准概要

微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

国家标准《微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中机生产力促进中心、天津大学、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学。主要起草人胡晓东、郭彤、程红兵、于振毅、李海斌、崔波、朱悦、裘安萍。 GB/T 34894-2017 现行

基础信息

标准号 GB/T 34894-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-05-01

标准号 GB/T 34894-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-05-01

起草单位

中机生产力促进中心