标准概要

微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy

国家标准《微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中北大学、中机生产力促进中心。主要起草人石云波、唐军、程红兵、崔建功、李海斌、朱悦。 GB/T 34899-2017 现行

基础信息

标准号 GB/T 34899-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-05-01

标准号 GB/T 34899-2017

发布日期 2017-11-01

实施日期 2018-05-01

起草单位

中北大学

中机生产力促进中心

起草人

石云波

唐军

李海斌

朱悦

程红兵

崔建功

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申明

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关键词标签

微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法