标准概要

蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer

国家标准《蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位天通控股股份有限公司。主要起草人康森、宋岩岩、邵峰、沈瞿欢、於震杰。 GB/T 34504-2017 现行 GB/T 24578-2024 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 34504-2017

发布日期 2017-10-14

实施日期 2018-05-01

标准号 GB/T 34504-2017

发布日期 2017-10-14

实施日期 2018-05-01

起草单位

天通控股股份有限公司

起草人

康森

宋岩岩

於震杰

邵峰

沈瞿欢

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