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标准概要
MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
国家标准《MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心 、北京必创科技股份有限公司 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、中北大学 。 主要起草人 张威 、程红兵 、陈得民 、李海斌 、崔波 、石云波 、朱悦 。 GB/T 33922-2017 现行
基础信息
标准号
GB/T 33922-2017
发布日期
2017-07-12
实施日期
2018-02-01
标准号
GB/T 33922-2017
发布日期
2017-07-12
实施日期
2018-02-01
起草单位
北京大学
北京必创科技股份有限公司
中北大学
中机生产力促进中心
中国电子科技集团公司第十三研究所
起草人
张威
程红兵
崔波
石云波
陈得民
李海斌
朱悦
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