标准概要

表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer

国家标准《表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。主要起草单位北京师范大学分析测试中心、清华大学分析中心。主要起草人吴正龙、姚文清。 GB/T 32999-2016 现行本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TR 22335:2007。采标中文名称:表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率。

基础信息

标准号 GB/T 32999-2016

发布日期 2016-10-13

实施日期 2017-09-01

标准号 GB/T 32999-2016

发布日期 2016-10-13

实施日期 2017-09-01

起草单位

北京师范大学分析测试中心

清华大学分析中心

起草人

吴正龙

姚文清

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