标准概要

硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

国家标准《硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位西北工业大学、中机生产力促进中心。主要起草人苑伟政、谢建兵、李海斌、乔大勇、马志波、常洪龙、刘伟。 GB/T 32814-2016 现行

基础信息

标准号 GB/T 32814-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

标准号 GB/T 32814-2016

发布日期 2016-08-29

实施日期 2017-03-01

起草单位

西北工业大学

中机生产力促进中心

起草人

苑伟政

谢建兵

马志波

常洪龙

李海斌

乔大勇

刘伟

推荐标准

申明

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关键词标签

硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范