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标准概要
氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope
国家标准《氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州纳维科技有限公司 。 主要起草人 刘争晖 、钟海舰 、徐耿钊 、樊英民 、邱永鑫 、曾雄辉 、王建峰 、徐科 。 GB/T 32189-2015 现行
基础信息
标准号
GB/T 32189-2015
发布日期
2015-12-10
实施日期
2016-11-01
标准号
GB/T 32189-2015
发布日期
2015-12-10
实施日期
2016-11-01
起草单位
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
苏州纳维科技有限公司
起草人
刘争晖
钟海舰
邱永鑫
曾雄辉
徐耿钊
樊英民
王建峰
徐科
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