标准概要

氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope

国家标准《氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司。主要起草人刘争晖、钟海舰、徐耿钊、樊英民、邱永鑫、曾雄辉、王建峰、徐科。 GB/T 32189-2015 现行

基础信息

标准号 GB/T 32189-2015

发布日期 2015-12-10

实施日期 2016-11-01

标准号 GB/T 32189-2015

发布日期 2015-12-10

实施日期 2016-11-01

起草单位

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

苏州纳维科技有限公司

起草人

刘争晖

钟海舰

邱永鑫

曾雄辉

徐耿钊

樊英民

王建峰

徐科

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