氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

国家标准《氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州纳维科技有限公司 、中国科学院物理研究所 、北京天科合达蓝光半导体有限公司 、丹东新东方晶体仪器有限公司 。 主要起草人 邱永鑫 、任国强 、刘争晖 、曾雄辉 、王建峰 、陈小龙 、王文军 、郑红军 、徐科 、赵松彬 。 GB/T 32188-2015 现行