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标准概要
碳化硅单晶片平整度测试方法
Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers
国家标准《碳化硅单晶片平整度测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京天科合达蓝光半导体有限公司 、中国科学院物理研究所 。 主要起草人 陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 。 GB/T 32278-2015 现行 20231112-T-469 正在征求意见
基础信息
标准号
GB/T 32278-2015
发布日期
2015-12-10
实施日期
2017-01-01
标准号
GB/T 32278-2015
发布日期
2015-12-10
实施日期
2017-01-01
起草单位
北京天科合达蓝光半导体有限公司
中国科学院物理研究所
起草人
陈小龙
郑红军
张玮
郭钰
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