标准概要

硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy

国家标准《硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研新材料股份有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心。主要起草人孙燕、李俊峰、楼春兰、潘紫龙、朱兴萍。 GB/T 24578-2009 （全部代替） GB/T 24578-2015 现行 GB/T 24578-2024 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 24578-2015

发布日期 2015-12-10

实施日期 2017-01-01

全部代替标准 GB/T 24578-2009

标准号 GB/T 24578-2015

发布日期 2015-12-10

实施日期 2017-01-01

全部代替标准 GB/T 24578-2009

起草单位

有研新材料股份有限公司

浙江省硅材料质量检验中心

万向硅峰电子股份有限公司

起草人

孙燕

李俊峰

朱兴萍

楼春兰

潘紫龙

推荐标准

GB/T 24675.2-2024 保护性耕作机械第2部分：深松机

GB/T 44445-2024 智能移动终端未成年人保护通用规范

GB/T 30135-2013 消费品质量安全风险信息描述规范

GB/T 43600-2023 中国少年先锋队队旗

GB/T 41441.1-2022 规模化畜禽场良好生产环境第1部分：场地要求

GB/T 16985-1997 棉纤维长度试验方法中段称重法

GB/T 12200.1-1990 汉语信息处理词汇 01部分:基本术语

GB/T 32168-2015 政务服务中心网上服务规范

GB/T 12001.3-1989 未增塑聚氯乙烯窗用模塑料第3部分:性能试验方法

GB/T 14352.3-1993 钨矿石、钼矿石化学分析方法火焰原子吸收分光光度法测定铜量

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

办理团体标准申请全流程

贵州农村土地征收价格标准

团体标准申请费用一般多少

团体标准代号

做团体标准需要什么条件

常德米粉团体标准

全国团体信息标准平台

是评价教师队伍素质的第一标准

团体标准费用是多少

在哪里做团体标准