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标准概要
Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
Test method for lattice constant of III-nitride epitaxial layers
国家标准《Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国科学院半导体研究所 。 主要起草人 孙宝娟 、赵丽霞 、王军喜 、曾一平 、李晋闽 。 GB/T 30654-2014 现行
基础信息
标准号
GB/T 30654-2014
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
标准号
GB/T 30654-2014
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
起草单位
中国科学院半导体研究所
起草人
孙宝娟
赵丽霞
李晋闽
王军喜
曾一平
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