标准概要

微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips

国家标准《微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米（苏州）股份有限公司。主要起草人伍超群、于洪宇、乔明胜、陈文龙、周鹏、邱杨、黄晋华、汪青、程鑫。 GB/T 43748-2024 现行

基础信息

标准号 GB/T 43748-2024

发布日期 2024-03-15

实施日期 2024-10-01

标准号 GB/T 43748-2024

发布日期 2024-03-15

实施日期 2024-10-01

起草单位

广东省科学院工业分析检测中心