电子工业用气体 氯化氢

国家标准《电子工业用气体 氯化氢》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京华宇同方化工科技开发有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 、佛山市华特气体有限公司 、光明化工研究设计院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、上海仪盟科技有限公司 。 主要起草人 张吉瑞 、孙福楠 、杜汉盛 、方华 、周鹏云 、杨任 。 GB/T 14602-1993 （全部代替） GB/T 24469-2009 （全部代替） GB/T 14602-2014 现行 20231009-T-469 正在审查