标准概要

电子工业用气体高纯氯

Gases for electronic industry―High purity chlorine

国家标准《电子工业用气体高纯氯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体（荆州）有限公司、上海仪盟科技有限公司。主要起草人周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏等。 GB/T 18994-2003 （全部代替） GB/T 18994-2014 现行 20231009-T-469 正在审查

基础信息

标准号 GB/T 18994-2014

发布日期 2014-12-22

实施日期 2015-07-01

全部代替标准 GB/T 18994-2003

标准号 GB/T 18994-2014

发布日期 2014-12-22

实施日期 2015-07-01

全部代替标准 GB/T 18994-2003

起草单位

西南化工研究设计院有限公司

佛山市华特气体有限公司

太和气体（荆州）有限公司

光明化工研究设计院有限公司

上海华爱色谱分析技术有限公司

上海仪盟科技有限公司

起草人

周鹏云

常侠

刘新明

汪正宏

廖恒易

方华

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申明

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