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标准概要
电子工业用气体 高纯氯
Gases for electronic industry―High purity chlorine
国家标准《电子工业用气体 高纯氯》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 西南化工研究设计院有限公司 、光明化工研究设计院有限公司 、佛山市华特气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、太和气体(荆州)有限公司 、上海仪盟科技有限公司 。 主要起草人 周鹏云 、常侠 、廖恒易 、方华 、刘新明 、汪正宏等 。 GB/T 18994-2003 (全部代替) GB/T 18994-2014 现行 20231009-T-469 正在审查
基础信息
标准号
GB/T 18994-2014
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
全部代替标准
GB/T 18994-2003
标准号
GB/T 18994-2014
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
全部代替标准
GB/T 18994-2003
起草单位
西南化工研究设计院有限公司
佛山市华特气体有限公司
太和气体(荆州)有限公司
光明化工研究设计院有限公司
上海华爱色谱分析技术有限公司
上海仪盟科技有限公司
起草人
周鹏云
常侠
刘新明
汪正宏
廖恒易
方华
推荐标准
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