标准概要

原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

国家标准《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。主要起草单位上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。主要起草人李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰。 GB/T 31227-2014 现行

基础信息

标准号 GB/T 31227-2014

发布日期 2014-09-30

实施日期 2015-04-15

标准号 GB/T 31227-2014

发布日期 2014-09-30

实施日期 2015-04-15

起草单位

上海交通大学

纳米技术及应用国家工程研究中心

起草人

李慧琴

梁齐

张冰

路庆华

何丹农

推荐标准

申明

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