标准概要

碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法

Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers

国家标准《碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院。主要起草人丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴等。 GB/T 30867-2014 现行 20231112-T-469 正在征求意见

基础信息

标准号 GB/T 30867-2014

发布日期 2014-07-24

实施日期 2015-02-01

标准号 GB/T 30867-2014

发布日期 2014-07-24

实施日期 2015-02-01

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所

中国电子技术标准化研究院

起草人

丁丽

周智慧

郝建民

蔺娴

推荐标准

GB/T 33844-2017 信息技术生物特征识别用于生物特征十指指纹采集应用编程接口（BioAPI）

GB 1902-2005 食品添加剂苯甲酸钠

GB/T 20899.4-2007 金矿石化学分析方法第4部分：铜量的测定

GB/T 18916.34-2018 取水定额第34部分：煤炭直接液化

GB/T 43878-2024 旋挖钻机截齿

GB/T 43835-2024 印刷技术印前数据交换基于RGB印刷工作流程中使用RGB图像的准备和可视化

GB/T 32291-2015 高压超高压安全阀离线校验与评定

GB/T 14177-2003 林业机械便携式割灌机和割草机试验方法

GB/T 18570.3-2005 涂覆涂料前钢材表面处理表面清洁度的评定试验第3部分：涂覆涂料前钢材表面的灰尘评定（压敏粘带法）

GB/T 2036-1994 印制电路术语

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

做团体标准制定的一般流程

团体标准立项是什么意思

怎样去做团体标准

团体标准和企业标准

团体标准办理价格

立项团体标准

团体标准属于什么级别

团体标准下载

护理学会团体标准

中国电子学会团体标准