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标准概要
碳化硅单晶抛光片
Polished monocrystalline silicon carbide wafers
国家标准《碳化硅单晶抛光片》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京天科合达蓝光半导体有限公司 、中国科学院物理研究所 。 主要起草人 陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 、刘春俊 、刘振洲 。 GB/T 30656-2014 废止 GB/T 30656-2023 (全部代替)
基础信息
标准号
GB/T 30656-2014
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
废止日期
2023-10-01
标准号
GB/T 30656-2014
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
废止日期
2023-10-01
起草单位
北京天科合达蓝光半导体有限公司
中国科学院物理研究所
起草人
陈小龙
郑红军
刘春俊
刘振洲
张玮
郭钰
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