标准概要

硅外延用三氯氢硅

Trichlorosilane for silicon epitaxial

国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司。主要起草人赵立奎、张莉萍、谭卫东、金龙、刘新军、郑华荣。 GB/T 30652-2014 废止 GB/T 30652-2023 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 30652-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

废止日期 2024-03-01

标准号 GB/T 30652-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

废止日期 2024-03-01

起草单位

中锗科技有限公司

南京中锗科技股份有限公司

南京国盛电子有限公司

起草人

赵立奎

张莉萍

刘新军

郑华荣

谭卫东

金龙

推荐标准

GB/T 25984.1-2010 汽车电动燃油泵第1部分：有刷电动燃油泵

GB/T 14898-1994 人造金刚石用石墨片

GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

GB 4343.1-2024 家用电器、电动工具和类似器具的电磁兼容要求第1部分：发射

GB/T 21168-2007 蜂蜜中泰乐菌素残留量的测定液相色谱-串联质谱法

GB/T 33779.1-2017 光纤特性测试导则第1部分：衰减均匀性

GB/T 9861-1988 感光胶片冲洗过程中抗划伤力测定方法

GB/T 4706.66-2024 家用和类似用途电器的安全第66部分：泵的特殊要求

GB/T 13931-2017 电除尘器性能测试方法

GB/T 5009.81-2003 不锈钢食具容器卫生标准的分析方法

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

社会团体