标准概要

电子级多晶硅

Electronic-grade polycrystalline silicon

国家标准《电子级多晶硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨嵋半导体材料研究所、四川新光硅业科技有限责任公司、有研半导体材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司。主要起草人詹科、杨旭、种娜、黎亚文、梁洪、孙燕、刘晓霞。 GB/T 12963-2009 （全部代替） GB/T 12963-2014 废止 GB/T 12963-2022 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 12963-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

废止日期 2023-07-01

全部代替标准 GB/T 12963-2009

标准号 GB/T 12963-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

废止日期 2023-07-01

全部代替标准 GB/T 12963-2009

起草单位

峨嵋半导体材料研究所

有研半导体材料股份有限公司

新特能源股份有限公司

四川新光硅业科技有限责任公司

江苏中能硅业科技发展有限公司

洛阳中硅高科技有限公司

起草人

詹科

杨旭

梁洪

孙燕

种娜

黎亚文

刘晓霞

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