标准概要

半导体设备电源接口

Power supply interface for semiconductor equipment

国家标准《半导体设备电源接口》由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位中国人民解放军空军雷达学院、工业和信息化部电子工业标准化研究院。主要起草人朱忠尼、亓迎川、梅昌义、祁承超等。 GB/T 15872-1995 （全部代替） GB/T 15872-2013 现行

基础信息

标准号 GB/T 15872-2013

发布日期 2013-12-17

实施日期 2014-05-15

全部代替标准 GB/T 15872-1995

标准号 GB/T 15872-2013

发布日期 2013-12-17

实施日期 2014-05-15

全部代替标准 GB/T 15872-1995

起草单位

中国人民解放军空军雷达学院

工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

朱忠尼

亓迎川

梅昌义

祁承超

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