标准概要

半导体生产设施电磁兼容性要求

Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility

国家标准《半导体生产设施电磁兼容性要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位工业和信息化部电子工业标准化研究院、安徽鑫阳电子有限公司。主要起草人黄英华、谭建国、刘军、周历群、钟华、冯亚彬。 GB/T 30116-2013 现行

基础信息

标准号 GB/T 30116-2013

发布日期 2013-12-17

实施日期 2014-04-15

标准号 GB/T 30116-2013

发布日期 2013-12-17

实施日期 2014-04-15

起草单位

工业和信息化部电子工业标准化研究院

安徽鑫阳电子有限公司

起草人

黄英华

谭建国

钟华

冯亚彬

刘军

周历群

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