标准概要

300mm 硅单晶抛光片

300mm polished monocrystalline silicon wafers

国家标准《300mm 硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。主要起草人闫志瑞、孙燕、盛方毓、卢立延、张果虎、向磊。 GB/T 29506-2013 现行

基础信息

标准号 GB/T 29506-2013

发布日期 2013-05-09

实施日期 2014-02-01

标准号 GB/T 29506-2013

发布日期 2013-05-09

实施日期 2014-02-01

起草单位

有研半导体材料股份有限公司

中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人

闫志瑞

孙燕

张果虎

向磊

盛方毓

卢立延

推荐标准

申明

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