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标准概要
300mm 硅单晶抛光片
300mm polished monocrystalline silicon wafers
国家标准《300mm 硅单晶抛光片》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 、中国有色金属工业标准计量质量研究所 。 主要起草人 闫志瑞 、孙燕 、盛方毓 、卢立延 、张果虎 、向磊 。 GB/T 29506-2013 现行
基础信息
标准号
GB/T 29506-2013
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
标准号
GB/T 29506-2013
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
起草单位
有研半导体材料股份有限公司
中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人
闫志瑞
孙燕
张果虎
向磊
盛方毓
卢立延
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