标准概要

离子束蚀刻机通用规范

General specification of ion beam etching system

国家标准《离子束蚀刻机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位中国电子科技集团公司第四十八研究所。主要起草人陈特超、周大良。 GB/T 15861-1995 （全部代替） GB/T 15861-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 15861-2012

发布日期 2012-11-05

实施日期 2013-02-15

全部代替标准 GB/T 15861-1995

标准号 GB/T 15861-2012

发布日期 2012-11-05

实施日期 2013-02-15

全部代替标准 GB/T 15861-1995

起草单位

中国电子科技集团公司第四十八研究所

起草人

陈特超

周大良

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申明

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