标准概要

硅基MEMS制造技术版图设计基本规则

Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design

国家标准《硅基MEMS制造技术版图设计基本规则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、西北工业大学。主要起草人张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波等。 GB/T 28274-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28274-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28274-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

北京大学

中国电子科技集团第十三研究所

西北工业大学

中机生产力促进中心

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

起草人

张大成

王玮

姜森林

崔波

刘伟

杨芳

推荐标准

GB/T 8381.7-2005 饲料中喹乙醇的测定-高效液相色谱法

GB/T 10295-1988 绝热材料稳态热阻及有关特性的测定热流计法

GB/T 5121.28-2021 铜及铜合金化学分析方法第28部分：铬、铁、锰、钴、镍、锌、砷、硒、银、镉、锡、锑、碲、铅和铋含量的测定电感耦合等离子体质谱法

GB 8774-1988 车间空气中锑及其化合物卫生标准

GB/Z 39262-2020 纳米技术纳米材料毒理学筛选方法指南

GB/T 16178-1996 厂内机动车辆安全检验技术要求

GB/T 34515-2017 航天器热平衡试验方法

GB/T 25877-2010 淀粉胶电泳同工酶分析

GB 11626-1989 救助艇绞车

GB/T 22750.1-2024 外科植入物陶瓷材料第1部分：高纯氧化铝陶瓷材料

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

行业标准团体标准

拟定团体标准

浙江制造团体标准官网

中国医院协会团体标准下载

团体标准谁制定

团体标准服务费

协会标准是团体标准吗

团体标准制定单位

团体标准出版社

团体标准费用标准