标准概要

硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

国家标准《硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所、中机生产力促进中心。主要起草人夏伟锋、熊斌、冯飞、戈肖鸿、周再发、李玉玲等。 GB/T 28275-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28275-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28275-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

东南大学

中机生产力促进中心

重庆大学

中国电子科技集团第四十九研究所

起草人

夏伟锋

熊斌

周再发

李玉玲

冯飞

戈肖鸿

推荐标准

GB/T 14090.3-1993 海上油气开发工程术语单点系泊装置和定位系统

GB 24500-2020 工业锅炉能效限定值及能效等级

GB/T 5120.1-1995 粗铜化学分析方法铜量的测定

GB/T 20183.1-2024 植物保护机械喷雾设备第1部分：喷雾机喷头试验方法

GB/T 20995-2007 输配电系统的电力电子技术静止无功补偿装置用晶闸管阀的试验

GB 19510.3-2004 灯的控制装置第3部分:钨丝灯用直流/交流电子降压转换器的特殊要求

GB/T 8768-1988 核工业用锆及锆合金无缝管

GB/T 42193.2-2022 道路车辆车辆和外部设备之间排放相关诊断的通信第2部分：术语、定义、缩写和缩略语的指南

GB/T 7064-2002 透平型同步电机技术要求

GB/T 30224-2013 刚地弓形虫试验临床应用

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

行业团体标准是什么

办理团体标准申请流程步骤

团体标准认证

如何下载团体标准

群体规范可以规划一个人在群体中

护理团体标准2024

企业标准团体标准

团体标准怎么

团体标准管理规定

化妆品团体标准