标准概要

硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process

国家标准《硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所。主要起草人崔波、罗蓉、刘伟、张大成、熊斌、陈海蓉。 GB/T 28276-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28276-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28276-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

中国电子科技集团第十三研究所

北京大学

中机生产力促进中心

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

起草人

崔波

罗蓉

熊斌

陈海蓉

刘伟

张大成

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