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标准概要
硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process
国家标准《硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国电子科技集团第十三研究所 、中机生产力促进中心 、北京大学 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 。 主要起草人 崔波 、罗蓉 、刘伟 、张大成 、熊斌 、陈海蓉 。 GB/T 28276-2012 现行
基础信息
标准号
GB/T 28276-2012
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
标准号
GB/T 28276-2012
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
起草单位
中国电子科技集团第十三研究所
北京大学
中机生产力促进中心
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
起草人
崔波
罗蓉
熊斌
陈海蓉
刘伟
张大成
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