标准概要

硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法

Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area

国家标准《硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、中国电子科技集团第四十九研究所。主要起草人张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波等。 GB/T 28277-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28277-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28277-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

北京大学

中国电子科技集团第十三研究所

中国电子科技集团第四十九研究所

中机生产力促进中心

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

起草人

张大成

王玮

姜森林

崔波

刘伟

杨芳

推荐标准

GB/T 18358-2001 中小学教科书幅面尺寸及版面通用标准

GB/T 7922-2003 照明光源颜色的测量方法

GB/T 34976-2017 信息安全技术移动智能终端操作系统安全技术要求和测试评价方法

GB/T 44119-2024 辐射骚扰1m法天线系数测量方法

GB/Z 21193.1-2007 矿物燃烧蒸汽发电站第1部分: 限幅控制

GB/T 192-2003 普通螺纹基本牙型

GB/T 22390.6-2008 高压直流输电系统控制与保护设备第6部分：换流站暂态故障录波装置

GB/T 27590-2022 纸杯

GB 16249-1996 车间空气中甲酚卫生标准

GB/T 35724-2017 海洋能电站技术经济评价导则

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准申报

山西省团体标准

团体标准制定一般要多少费用

行业标准团体标准

团体标准是谁制定的

宁波团体标准

团体标准申请时间

团体标准与地方标准

中华护理学团体标准

短期团体意外