标准概要

真空镀膜设备通用技术条件

Vacuum coating plant generic specification

国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。主要起草单位北京北仪创新真空技术有限责任公司、上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器有限公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等。主要起草人陈月增、谢钧荣、范立群、孙凯、温发兰等。 GB/T 11164-1999 （全部代替） GB/T 11164-2011 现行

基础信息

标准号 GB/T 11164-2011

发布日期 2011-11-21

实施日期 2012-03-01

全部代替标准 GB/T 11164-1999

标准号 GB/T 11164-2011

发布日期 2011-11-21

实施日期 2012-03-01

全部代替标准 GB/T 11164-1999

起草单位

北京北仪创新真空技术有限责任公司

兰州真空设备有限责任公司

中国航天科技集团第五研究院510研究所等

上海曙光机械制造厂有限公司

成都南光机器有限公司

起草人

陈月增

谢钧荣

温发兰

范立群

孙凯

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