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标准概要
氟及氟氮混合气
Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
国家标准《氟及氟氮混合气》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中核红华特种气体股份有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、山东锐华氟业有限公司 、核工业理化工程研究院 、西南化工研究设计院 。 主要起草人 杜伟华 、贺国武 、李建浩 、李春晓等 。 GB/T 26251-2010 现行 20231009-T-469 正在审查
基础信息
标准号
GB/T 26251-2010
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
标准号
GB/T 26251-2010
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
起草单位
中核红华特种气体股份有限公司
山东锐华氟业有限公司
西南化工研究设计院
上海华爱色谱分析技术有限公司
核工业理化工程研究院
起草人
杜伟华
贺国武
李建浩
李春晓
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