标准概要

洁净室及相关受控环境第6部分：词汇

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary

国家标准《洁净室及相关受控环境第6部分：词汇》由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位苏州市洁净室科技促进中心、中国电子学会洁净技术分会、深圳市标准化研究院等。主要起草人王尧、陈刚、缪德骅、涂有、乐细明等。 GB/T 25915.6-2010 现行本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14644-6:2007。采标中文名称:洁净室及相关受控环境第6部分:词汇。

基础信息

标准号 GB/T 25915.6-2010

发布日期 2011-01-14

实施日期 2011-05-01

标准号 GB/T 25915.6-2010

发布日期 2011-01-14

实施日期 2011-05-01

起草单位

苏州市洁净室科技促进中心

深圳市标准化研究院等

中国电子学会洁净技术分会

起草人

王尧

陈刚

乐细明

缪德骅

涂有

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