标准概要

硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

practice for shallow etch pit detection on silicon

国家标准《硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位洛阳单晶硅有限责任公司。主要起草人田素霞、张静雯、王文卫、周涛。 GB/T 26066-2010 现行

基础信息

标准号 GB/T 26066-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

标准号 GB/T 26066-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

起草单位

洛阳单晶硅有限责任公司

起草人

田素霞

张静雯

王文卫

周涛

推荐标准

GB/T 6379.5-2006 测量方法与结果的准确度（正确度与精密度）第5部分：确定标准测量方法精密度的可替代方法

GB/T 17391-1998 聚乙烯管材与管件热稳定性试验方法

GB/T 4074.1-2024 绕组线试验方法第1部分：一般规定

GB/T 14048.2-2020 低压开关设备和控制设备第2部分：断路器

GB/T 5461-2016 食用盐

GB/T 11362-2008 同步带传动梯形齿同步带额定功率和传动中心距的计算

GB/T 27797.7-2011 纤维增强塑料试验板制备方法第7部分：树脂传递模塑

GB/T 41666.3-2022 地下无压排水管网非开挖修复用塑料管道系统第 3 部分：紧密贴合内衬法

GB/T 17980.70-2004 农药田间药效试验准则（二）第70部分:杀虫剂防治森林松毛虫

GB/T 33504-2017 移动式悬吊工作平台

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准制定要求

团体标准发布在哪里

团体标准申报

养殖场标准是多少

团体标准国家标准

护理团体标准2024

参加团体标准制定的意义

征集团体标准的通知

有做团体标准的吗

中国工程建设标准化协会团体标准