标准概要

微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则

Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

国家标准《微机电系统（MEMS）技术微几何量评定总则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。主要起草人丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱等。 GB/T 26113-2010 现行

基础信息

标准号 GB/T 26113-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

标准号 GB/T 26113-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

起草单位

中机生产力促进中心

天津大学

西安交通大学

中原工学院

起草人

丁红宇

张苹

景蔚萱

刘伟

蒋庄德

推荐标准

申明

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关键词标签

微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则