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标准概要
硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance
国家标准《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司 、中国计量科学研究院 、洛阳单晶硅有限责任公司等 。 主要起草人 曹孜 、孙燕 、黄黎 、高英等 。 GB/T 26068-2010 废止 GB/T 26068-2018 (全部代替)
基础信息
标准号
GB/T 26068-2010
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
废止日期
2019-11-01
标准号
GB/T 26068-2010
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
废止日期
2019-11-01
起草单位
有研半导体材料股份有限公司
中国计量科学研究院
瑟米莱伯贸易(上海)有限公司
洛阳单晶硅有限责任公司等
起草人
曹孜
孙燕
黄黎
高英
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