标准概要

硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance

国家标准《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、中国计量科学研究院、洛阳单晶硅有限责任公司等。主要起草人曹孜、孙燕、黄黎、高英等。 GB/T 26068-2010 废止 GB/T 26068-2018 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 26068-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2019-11-01

标准号 GB/T 26068-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2019-11-01

起草单位

有研半导体材料股份有限公司

中国计量科学研究院

瑟米莱伯贸易（上海）有限公司

洛阳单晶硅有限责任公司等

起草人

曹孜

孙燕

黄黎

高英

推荐标准

GB/T 17980.124-2004 农药田间药效试验准则（二）第124部分:杀菌剂防治苹果斑点落叶病

GB/T 37080-2018 可信性分析技术事件树分析（ETA）

GB/T 41603.2-2022 自走式农业机械稳定性评价第2部分：静态稳定性的测定与试验程序

GB/T 19596-2004 电动汽车术语

GB 19193-2003 疫源地消毒总则

GB/T 21069-2007 天然气高压下水含量的测定

GB/Z 19582.3-2004 基于Modbus协议的工业自动化网络规范第3部分:Modbus协议在TCP/IP上的实现指南

GB/T 5169.20-2021 电工电子产品着火危险试验第20部分：火焰表面蔓延试验方法概要和相关性

GB/T 38845-2020 智能仪器仪表的数据描述定位器

GB/T 44796-2024 集成电路三维封装带凸点圆片划片工艺过程和评价要求

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签