标准概要

硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance

国家标准《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、中国计量科学研究院、洛阳单晶硅有限责任公司等。主要起草人曹孜、孙燕、黄黎、高英等。 GB/T 26068-2010 废止 GB/T 26068-2018 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 26068-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2019-11-01

标准号 GB/T 26068-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2019-11-01

起草单位

有研半导体材料股份有限公司

中国计量科学研究院

瑟米莱伯贸易（上海）有限公司

洛阳单晶硅有限责任公司等

起草人

曹孜

孙燕

黄黎

高英

推荐标准

GB/T 5093-2009 压力机用手持电磁吸盘技术条件

GB/T 17489-2022 液压传动颗粒污染分析从工作系统管路中提取液样

GB 2717-2003 酱油卫生标准

GB/T 16855.100-2005 机械安全控制系统有关安全部件第100部分:GB/T 16855.1的应用指南

GB 8958-2006 缺氧危险作业安全规程

GB/T 32725-2016 实验室测定微生物过程、生物量与多样性用土壤的好氧采集、处理及贮存指南

GB/T 31983.31-2017 低压窄带电力线通信第31部分：窄带正交频分复用电力线通信物理层规范

GB/T 16748-1997 滑动轴承金属轴承材料的压缩试验

GB/T 5836.1-2006 建筑排水用硬聚氯乙烯（PVC-U）管材

GB/T 8897.3-2006 原电池第3部分：手表电池

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签