标准概要

微机电系统（MEMS）技术术语

Micro-electromechanical system technology - Terms

国家标准《微机电系统（MEMS）技术术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学等。主要起草人丁红宇、刘伟、张苹、崔波等。 GB/T 26111-2010 废止 GB/T 26111-2023 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 26111-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2023-09-01

标准号 GB/T 26111-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2023-09-01

起草单位

中机生产力促进中心

清华大学

中北大学等

中国电子科技集团第13研究所

上海交通大学

起草人

丁红宇

刘伟

张苹

崔波

推荐标准

GB/T 22427.7-2008 淀粉粘度测定

GB/T 15146.12-2017 反应堆外易裂变材料的核临界安全第12部分：轻水堆燃料燃耗信用制

GB/T 39042-2020 电工钢单片磁性能测试 H线圈法

GB/T 5238-1995 锗单晶

GB/Z 14482-2022 机械计数器

GB/T 14614.4-2005 小麦粉面团流变特性测定吹泡仪法

GB 8773-1988 车间空气中丙烯酸甲酯卫生标准

GB/T 7973-2003 纸、纸板和纸浆漫反射因数的测定（漫射／垂直法）

GB/T 8566-2001 信息技术软件生存周期过程

GB/T 42105-2022 水泥和煤炭行业能源管理绩效评价指南

申明

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微机电系统（MEMS）技术 术语

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