标准概要

真空技术溅射离子泵性能参数的测量

Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics

国家标准《真空技术溅射离子泵性能参数的测量》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。主要起草单位北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。主要起草人邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影。 GB/T 25755-2010 现行

基础信息

标准号 GB/T 25755-2010

发布日期 2010-12-23

实施日期 2011-10-01

标准号 GB/T 25755-2010

发布日期 2010-12-23

实施日期 2011-10-01

起草单位

北京中科科仪技术发展有限责任公司

沈阳真空技术研究所

起草人

邹蒙

张勤德

李春影

朱国精

马殿理

推荐标准

申明

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关键词标签

真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量