标准概要

硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法

Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array

国家标准《硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位宁波立立电子股份有限公司、南京国盛电子有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心。主要起草人李慎重、许峰、刘培东、谌攀、马林宝、何秀坤。 GB/T 14141-1993 （全部代替） GB/T 14141-2009 现行

基础信息

标准号 GB/T 14141-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14141-1993

标准号 GB/T 14141-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14141-1993

起草单位

宁波立立电子股份有限公司

信息产业部专用材料质量监督检验中心

南京国盛电子有限公司

起草人

李慎重

许峰

马林宝

何秀坤

刘培东

谌攀

推荐标准

GB/T 19128-2003 农用运输车回复反射器

GB/T 26816-2011 信息资源核心元数据

GB/T 19971-2005 医疗保健产品灭菌术语汇编

GB/T 14725-1993 下肢假肢结构强度试验方法

GB/T 6609.29-2004 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法吸附指数的测定

GB/T 5399-2004 纸浆浆料浓度的测定

GB/T 2481.2-2020 固结磨具用磨料粒度组成的检测和标记第2部分：微粉

GB/T 5009.46-2003 乳与乳制品卫生标准的分析方法

GB/T 8069-1998 功能量规

GB 28489-2022 乐器有害物质限量

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

国家实行团体标准

团体交通意外

全国团体信息标准平台

茶叶团体标准

为什么要有团体标准

团体标准几家单位制定

农村土地怎么确权和确权标准

团体素质拓展

集体宿舍标准一人平均面积

团体标准申办