硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

国家标准《硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 。 主要起草人 何友琴 、马农农 、丁丽 。 GB/T 24575-2009 现行 本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1617-0304。 采标中文名称:二次离子质谱法测定硅和硅外延衬底表面上钠、铝和钾。