标准概要

硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry

国家标准《硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。主要起草人何友琴、马农农、丁丽。 GB/T 24575-2009 现行本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1617-0304。采标中文名称:二次离子质谱法测定硅和硅外延衬底表面上钠、铝和钾。

基础信息

标准号 GB/T 24575-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

标准号 GB/T 24575-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心

中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人

何友琴

马农农

丁丽

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