硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

国家标准《硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 。 主要起草人 杜娟 、孙燕 、卢立延 。 GB/T 13387-1992 （全部代替） GB/T 13387-2009 现行 本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF671-0705。 采标中文名称:硅及其它电子材料晶片参考面长度测试方法。