标准概要

重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry

国家标准《重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。主要起草人马农农、何友琴、丁丽。 GB/T 24580-2009 现行本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1528-1104。采标中文名称:用二次离子质谱法测量重搀杂N型硅衬底中的硼污染的方法。

基础信息

标准号 GB/T 24580-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

标准号 GB/T 24580-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心

中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人

马农农

何友琴

丁丽

推荐标准

GB/T 12967.3-2022 铝及铝合金阳极氧化膜及有机聚合物膜检测方法第3部分：盐雾试验

GB/T 41864-2022 信息技术计算机视觉术语

GB/T 15327-1994 工业用变速宽V带及其尺寸

GB/T 20721-2022 自动导引车通用技术条件

GB/T 42224-2022 鞋类条带、装饰件和附件结合力

GB/T 12668.7202-2024 调速电气传动系统第7-202部分：电气传动系统的通用接口和使用规范 2型规范说明

GB/T 41642-2022 财政预算管理一体化系统技术要求

GB/T 5916-2004 产蛋后备鸡、产蛋鸡、肉用仔鸡配合饲料

GB 12349-1990 工业企业厂界噪声测量方法

GB/T 5009.162-2003 动物性食品中有机氯农药和拟除虫菊酯农药多组分残留量的测定

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

河南省团体标准

中国标准化协会团体标准

团体标准流程

如何办理团体标准申请

团体标准转化为国家标准

要怎么办理团体标准立项

团体标准采信

小蹦床团体标准

找团体标准立项