标准概要

重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry

国家标准《重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。主要起草人马农农、何友琴、丁丽。 GB/T 24580-2009 现行本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1528-1104。采标中文名称:用二次离子质谱法测量重搀杂N型硅衬底中的硼污染的方法。

基础信息

标准号 GB/T 24580-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

标准号 GB/T 24580-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心

中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人

马农农

何友琴

丁丽

推荐标准

GB/T 1587-2016 工业碳酸钾

GB/T 43925-2024 套管和油管全尺寸拉伸应力腐蚀试验方法

GB/T 17317-1998 小麦原种生产技术操作规程

GB/T 44388-2024 空间环境热等离子体原位探测载荷实验室定标方法

GB/T 16650-1996 TDM/FDMA点对多点微波通信系统通用规范

GB/T 23006-2022 信息化和工业化融合管理体系新型能力分级要求

GB/T 17466.24-2017 家用和类似用途固定式电气装置的电器附件安装盒和外壳第24部分：住宅保护装置和其他电源功耗电器的外壳的特殊要求

GB/T 6150.1-2008 钨精矿化学分析方法三氧化钨量的测定钨酸铵灼烧重量法

GB/T 4127.6-2008 固结磨具尺寸第6部分：工具磨和工具室用砂轮

GB/T 16632-2008 水处理剂阻垢性能的测定碳酸钙沉积法

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准可以作为执行标准吗

全国团体标准公示平台

怎么认定团体标准

办理团体标准

制订团体标准

地方标准团体标准国家标准

要怎么办理团体标准立项

团体标准制定要哪些流程

团体标准参与费用