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标准概要
电子工业用气体 三氟化硼
Gases for electronic industry - Boron trifluoride
国家标准《电子工业用气体 三氟化硼》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 核工业理化工程研究院 、大连光明化工研究院 、西南化工研究设计院 。 主要起草人 邓建平 、倪志强 、孙福楠 、周鹏云 。 GB/T 14603-1993 (全部代替) GB/T 14603-2009 现行 20231009-T-469 正在审查
基础信息
标准号
GB/T 14603-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
全部代替标准
GB/T 14603-1993
标准号
GB/T 14603-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
全部代替标准
GB/T 14603-1993
起草单位
核工业理化工程研究院
西南化工研究设计院
大连光明化工研究院
起草人
邓建平
倪志强
孙福楠
周鹏云
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